電容位移傳感器是一種非接觸式位移測(cè)量傳感器，用于導(dǎo)體材料的位移、振動(dòng)測(cè)量，量程從25um到10mm不等，精度在納米級(jí)別，常用于機(jī)床主軸振動(dòng)、壓電材料振動(dòng)位移測(cè)量電容位移傳感器。

　傳感器是一種檢測(cè)裝置，能感受到被測(cè)量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成在工業(yè)相機(jī)中，傳感器也起著非常重要的作用，它可以幫助相機(jī)更好的采圖并計(jì)算結(jié)果，一款相機(jī)的性能是否優(yōu)秀往往要看相機(jī)所用到的傳感器是否性能出色。

　常見的有變截距型，便面積型，變介電常數(shù)型。但是用于位移測(cè)量的通常是采用變截距原理的。也就是用被測(cè)物體（需要具有導(dǎo)電性）作為電容的一個(gè)極板，用傳感器作為電容的另外一個(gè)極板。會(huì)影響這個(gè)電容電容值的因素就是距離，正對(duì)面積和間隙介質(zhì)。如果想用電容傳感器測(cè)位移，就要確保后兩者不會(huì)變化。可以測(cè)量導(dǎo)體材料和非導(dǎo)體材料（測(cè)量非導(dǎo)體材料時(shí)，采用變介電常數(shù)原理）。絕對(duì)誤差可以達(dá)到0.1微米，分辨率達(dá)到0.0375納米。但是要求不能有油污和水等影響因素（恒定的油污和水也是可以補(bǔ)償?shù)?，不恒定的就?huì)有問題），否則會(huì)影響電容的介電常數(shù)。

　可以采用電容式測(cè)量方法，可以在線檢測(cè)壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè).傳感器是一個(gè)單一的通道，高性能線性位移測(cè)量系統(tǒng)，創(chuàng)新的電容位移測(cè)量技術(shù)，提供了納米測(cè)量能力，成本低，適合測(cè)量任何導(dǎo)電目標(biāo)。